SuperViewW1輪廓度光學(xué)測量儀是以白光干涉技術(shù)為原理，能以亞納米級精度測量從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器,?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù),。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高,、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動對焦,、自動找條紋,、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能；

3）測量中提供自動拼接測量,、定位自動多區(qū)域測量功能,；

4）分析中提供校平、圖像修描,、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

結(jié)果組成

1,、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度,，波紋度，表面結(jié)構(gòu),，缺陷分析,，晶粒分析等；

2,、二維圖像分析：距離,，半徑，斜坡,，格子圖,，輪廓線等；

3,、表界面測量：透明表面形貌,，薄膜厚度，透明薄膜下的表面,；

4,、薄膜和厚膜的臺階高度測量；

5,、劃痕形貌,，摩擦磨損深度,、寬度和體積定量測量；

6,、微電子表面分析和MEMS表征,。

SuperViewW1輪廓度光學(xué)測量儀其隔振系統(tǒng)能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,，獲得高測量重復(fù)性?？蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工,、微納材料及制造,、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中,，對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度,、粗糙度,、波紋度、面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況、腐蝕情況,、孔隙間隙,、臺階高度、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。